Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Sommaire général
Chapitre 4 : Lien entre structure cristallographique et propriétés
électriques..................................................................................................... 136
1. Analyse des courbes εr = f(Trecuit) : cas du STO................................. 138
1.1. Etude préliminaire...........................................................................................138
1.2. Spectrométrie EXAFS (Extended X-ray Absorption Fine Structure) : "Structure
Fine d’Absorption X après seuil" ................................................................................142
1.3. Réflectométrie de rayons X .............................................................................155
1.4. Discussion – Conclusion .................................................................................161
2. Effet des contraintes dans le plan sur la constante diélectrique du BTO..
......................................................................................................... 162
2.1. Modèle de Pertsev...........................................................................................162
2.2. Conditions expérimentales ..............................................................................163
2.3. Caractérisation cristallographique....................................................................164
2.4. Conclusion......................................................................................................172
3. Conclusion du chapitre ..................................................................... 173
Bibliographie .............................................................................................. 175
Chapitre 5 : Influence du procédé d’élaboration des capacités sur leurs
performances................................................................................................ 178
1. Influence de l’épaisseur de diélectrique sur les caractéristiques
électriques................................................................................................... 180
1.1. Capacité surfacique et constante diélectrique...................................................180
1.2. Courant de fuite...............................................................................................183
1.3. Conclusion......................................................................................................188
2. Influence des électrodes.................................................................... 189
2.1. Préparation des échantillons. ...........................................................................189
2.2. C(V)................................................................................................................189
2.3. I(V) .................................................................................................................192
2.4. Etudes des hauteurs de barrière .......................................................................196
2.5. Conclusion......................................................................................................198
3. Influence du procédé d’élaboration des capacités MIM .................... 199
3.1. Introduction.....................................................................................................199
3.2. Présentation de la technologie 100 mm............................................................199
3.3. Pourquoi une telle différence de constante diélectrique ?.................................202
3.4. Conclusion......................................................................................................207
4. Conclusion du chapitre ..................................................................... 209
Bibliographie .............................................................................................. 210
3