Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 3 : Etude de capacités MIM à base de STO et BTO
2.3. Analyse avec le logiciel LUMIERE® : effet des paramètres sur la constante
diélectrique.....................................................................................................................103
2.3.1. 1 ère étude : prise en compte de tous les paramètres.......................................104
2.3.2. 2 ème étude : prise en compte de cinq paramètres...........................................105
2.3.3. Validation du plan d’expériences.................................................................106
2.3.4. Discussion...................................................................................................107
2.4. Analyse avec le logiciel LUMIERE® : effet des paramètres sur la température de
transition ........................................................................................................................108
2.4.1. 1 ère étude : sélection des paramètres.............................................................109
2.4.2. 2 ème étude : prise en compte de quatre paramètres........................................110
2.4.3. Validation du plan d’expériences.................................................................111
2.4.4. Discussion...................................................................................................112
2.5. Analyses complémentaires ..................................................................................112
2.5.1. Caractérisation par DRX .............................................................................112
2.5.2. Analyse RBS...............................................................................................115
2.5.3. Mesure des contraintes ................................................................................116
2.6. Conclusions du plan d’expériences sur l’optimisation du BTO............................117
3. SrTiO3 .......................................................................................................................118
3.1. Mesure d’épaisseurs............................................................................................118
3.2. Tests électriques..................................................................................................118
3.3. Analyse avec le logiciel LUMIERE® : effet des paramètres sur la constante
diélectrique.....................................................................................................................121
3.3.1. 1 ère étude : prise en compte de tous les paramètres.......................................121
3.3.2. 2 ème étude : prise en compte de deux paramètres..........................................122
3.3.3. Validation du plan d’expériences.................................................................123
3.3.4. Discussion...................................................................................................124
3.4. Analyse avec le logiciel LUMIERE® : effet des paramètres sur la température de
transition ........................................................................................................................125
3.4.1. 1 ère étude : prise en compte de tous les paramètres.......................................125
3.4.2. 2 ème étude : prise en compte d’un seul paramètre ........................................125
3.4.3. Validation du plan d’expériences.................................................................126
3.5. Analyses complémentaires. .................................................................................127
3.5.1. Caractérisation par DRX .............................................................................127
3.5.2. Analyse RBS...............................................................................................129
3.6. Conclusion du plan d’expériences sur l’optimisation du STO..............................130
4. Conclusion du chapitre ..............................................................................................131
Bibliographie......................................................................................................................133
___________________________________________________________________________
87