Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 3 : Etude de capacités MIM à base de STO et BTO
Figure 3-9 : Comparaison entre les constantes diélectriques mesurées et estimées.
La loi de variation donnée par le plan d’expériences pour les variables non réduites est :
εεεεr = -117 + 0,2399.T + 0,9366.IIAD + 0.0914.VCP + 0,3371.DO2 + 0,0151.Epa
Avec T en °C, IIAD en mA, VCP en V, DO2 en sccm et Epa en nm.
Équation 3-13
On peut noter que les coefficients associés à tous les facteurs sont positifs, ce qui signifie que
dans le domaine d’étude, la constante diélectrique augmente quand on augmente les
paramètres.
2.3.4. Discussion
Une amélioration de la constante diélectrique pourrait être due entre autre à une densification
des couches. En effet, la présence de porosités (remplies d’air) présentant une constante
diélectrique plus faible que celle du BTO peut diminuer la constante diélectrique de la couche.
Plusieurs paramètres peuvent avoir une influence sur la densité du BTO :
• Déposer le BTO à haute température pourrait permettre de diminuer la porosité des
couches.
constante diélectrique
140
120
100
80
60
40
20
• Le fait d’augmenter la tension du canon principal augmente l’énergie des ions
incidents et ainsi celle des atomes éjectés. Ces derniers arrivent sur le dépôt déjà
réalisé avec une énergie élevée qu’ils peuvent transmettre aux autres atomes qui vont
pouvoir se réorganiser.
0
mesure
estimation
ε estimé − δ < ε mesuré < ε estimé + δ
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
n° des échantillons
107