Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 5 : Influence du procédé d’élaboration des capacités sur leurs performances
lin (counts)
1000
900
800
700
600
500
400
300
200
100
P19
P18
P17
0
32,1 32,2 32,3 32,4 32,5 32,6 32,7 32,8 32,9
Figure 5-22 : Profils de diffraction en mode 2θ-scan réalisés sur le pic STO211
Le Tableau 5- est un récapitulatif présentant pour chaque plaque la position du sommet du pic
110 du STO ainsi que la taille de grain calculée par la méthode de Scherrer (en négligeant
l’élargissement du pic dû aux contraintes internes).
Tableau 5-3 : Position du pic 110 et taille de grain du STO calculée pour les trois plaques
N° de plaque Position du pic Taille de grain
P17 32,51° 43,1 nm
P18 32,49° 61,6 nm
P19 32,53° 39,7 nm
Ainsi, la plaque qui possède la constante diélectrique la plus élevée présente également les
plus gros grains. Les plaques P17 et P19 présentent quant à elles, environ la même constante
diélectrique et la même taille de grain.
2 theta-scale
Ce comportement a déjà été observé dans la littérature [10,11]. La constante diélectrique et la
taille de grain varient dans le même sens. He et al. [11] ont attribué cette augmentation au fait
qu’un matériau composé de gros grains possède moins de joints de grains qu’un matériau
composé de grains fins. Or les joints de grains sont moins bien structurés que les grains et
possèdent des propriétés électriques moindres.
P17
P18
P19
206