Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 6 : Capacités MIM STO/BTO
Figure 6-4 : Evolution des paramètres de maille c (a) et a (b) de STO et BTO avec la périodicité
d’empilements STO/BTO. L’épaisseur totale des empilements est de 2000 Å. [2]
Kim et al. [20] ont également montré que la constante diélectrique d’un empilement
STO/BTO atteint un maximum pour une certaine valeur de distorsion des couches de STO et
de BTO. Dans la Figure 6-5, la distorsion est représentée par le rapport c/a des paramètres de
maille, c étant le paramètre normal à la surface de la couche et a, le paramètre dans le plan.
Par contre, Tabata et al. [15] ont noté que lorsque la périodicité diminue au point d’atteindre
des couches de STO ou BTO constituées d’une seule couche atomique, la constante
diélectrique décroît de nouveau. Ceci est dû au fait que la structure du matériau correspond
alors à celle de la solution solide (Ba0,5,Sr0,5)TiO3 : chaque ion Ti 4+ est entouré de quatre ions
Ba 2+ et de quatre ions Sr 2+ ; on retrouve donc le comportement de la solution solide pour
laquelle la constante diélectrique est plus faible [15].
Figure 6-5 : Variation de la constante diélectrique et de la non linéarité d’empilements STO/BTO en
fonction de la déformation des mailles de BTO (a) et de STO (b). [20]
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