Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 5 : Influence du procédé d’élaboration des capacités sur leurs performances
Jfuite (A/cm²)
-0,8
Pt
Or
Injection via Esup
-0,6
-0,4
-0,2
1,E-03
1,E-04
1,E-05
1,E-06
1,E-07
1,E-08
1,E-09
0,0
0,2
Champ Electrique Appliqué (MV/cm)
0,4
+ recuit
de
guérison
Figure 5-13 : Evolution des courants de fuite avec le champ électrique appliqué pour les échantillons ayant
subi le recuit de cristallisation du STO après dépôt de l’électrode supérieure (Au ou Pt).
Finalement les meilleurs résultats ont été obtenus sur la structure qui a subi l’enchaînement
des étapes suivant :
• Cristallisation du STO,
• Dépôt de l’électrode supérieure en Pt,
• Recuit de guérison.
2.3.2. Evolution des courants de fuite avec la température
Pour compléter cette étude, nous avons réalisé une campagne de mesures en température, en
chauffant les échantillons depuis la température ambiante (25°C) jusqu’à 125°C, par paliers
de 25°C. Cette étude a été réalisée sur les échantillons ayant subi le recuit de cristallisation
après le dépôt de l’électrode.
Les résultats sont illustrés par les courbes de la Figure 5-14 et de la Figure 5-15 qui montrent
l’évolution des courants de fuite en fonction de la température de mesure selon la nature de
l’électrode.
0,6
0,8
194