Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Sommaire général
4. La pulvérisation par faisceau d’ions.................................................... 69
4.1. Généralités........................................................................................................69
4.2. Les sources d’ions.............................................................................................70
4.3. Procédé de dépôt ...............................................................................................73
5. Réalisation des capacités MIM ........................................................... 75
5.1. L’empilement....................................................................................................75
5.2. Elaboration de l’électrode supérieure et définition du condensateur...................76
5.3. Recuit de cristallisation .....................................................................................78
6. Conclusion du chapitre ....................................................................... 79
Bibliographie ................................................................................................ 80
Chapitre 3 : Etude de capacités MIM à base de STO et BTO..................... 86
1. Mise en place d’un plan d’expériences................................................ 88
1.1. Introduction.......................................................................................................88
1.2. Identification des paramètres et domaines d’étude.............................................88
1.3. Description des plans d’expériences ..................................................................90
1.4. Choix des réponses et techniques d’analyses .....................................................93
2. BaTiO3.............................................................................................. 100
2.1. Mesure d’épaisseurs ........................................................................................100
2.2. Tests électriques..............................................................................................101
2.3. Analyse avec le logiciel LUMIERE® : effet des paramètres sur la constante
diélectrique.................................................................................................................103
2.4. Analyse avec le logiciel LUMIERE® : effet des paramètres sur la température de
transition.....................................................................................................................108
2.5. Analyses complémentaires ..............................................................................112
2.6. Conclusions du plan d’expériences sur l’optimisation du BTO ........................117
3. SrTiO3............................................................................................... 118
3.1. Mesure d’épaisseurs ........................................................................................118
3.2. Tests électriques..............................................................................................118
3.3. Analyse avec le logiciel LUMIERE® : effet des paramètres sur la constante
diélectrique.................................................................................................................121
3.4. Analyse avec le logiciel LUMIERE® : effet des paramètres sur la température de
transition.....................................................................................................................125
3.5. Analyses complémentaires. .............................................................................127
3.6. Conclusion du plan d’expériences sur l’optimisation du STO ..........................130
4. Conclusion du chapitre ..................................................................... 131
Bibliographie .............................................................................................. 133
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