Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 3 : Etude de capacités MIM à base de STO et BTO
• C’est le même principe en ce qui concerne le courant d’ions du canon d’assistance.
Lorsqu’on augmente le courant, le nombre d’ions arrivant sur le substrat augmente et
peut provoquer une augmentation de la mobilité des atomes contribuant au
comblement de la porosité [8].
La densification n’est pas le seul impact possible de l’augmentation du courant d’ions du
canon d’assistance. Le principal effet recherché lors de l’utilisation de l’assistance est la
repulvérisation du dépôt afin d’en améliorer sa stoechiométrie. Sans assistance ionique les
couches présentent probablement un écart à la phase pérovskite pure, défavorable à la
constante diélectrique. En effet, une étude réalisée au LETI [9] a montré de façon
reproductible que des couches de BTO n’ayant pas subi de bombardement ionique présentent
un excès de Ba. Nous étudierons par la suite la stœchiométrie de nos dépôts à l’aide
d’analyses RBS.
L’augmentation du débit d’oxygène dans le bâti peut également influencer la stoechiométrie
des dépôts en comblant des lacunes d’oxygène. Ceci peut donc permettre d’obtenir la
structure pérovskite pure attendue.
La constante diélectrique augmente également lorsque l’épaisseur du dépôt augmente. Ceci
est couramment observé dans la littérature et expliqué par la présence aux interfaces
électrode/diélectrique d’une couche de constante diélectrique faible qui intervient d’autant
plus que le diélectrique est fin [10-11].
2.4. Analyse avec le logiciel LUMIERE® : effet des paramètres sur la
température de transition
Afin de déterminer l’influence des différents paramètres de dépôt sur la température de
transition faible/forte constante diélectrique du BTO, nous avons analysé les valeurs de
température de recuit observées juste avant que la constante diélectrique ne commence à
augmenter (Tableau 3-7) avec le logiciel LUMIERE®.
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