Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 2 : Elaboration de films minces de STO et BTO
Figure 2-9 : Variation de la constante diélectrique d’une couche mince de STO en fonction de sa
composition. [13]
Toutefois les auteurs ne s’accordent pas sur le rapport optimal Sr/Ti permettant d’obtenir la
constante diélectrique maximale :
• Lesaicherre et al. [15] ont rapporté que la constante diélectrique maximale pour un
film de STO déposé par MOCVD était obtenue pour un rapport Sr/Ti égal à 0,95
(excès de Ti),
• Tsuzuki et al. [16] ont, quant à eux, obtenu une constante diélectrique maximale pour
un film de STO déposé par sol-gel pour un rapport Sr/Ti égal à 1,04 (excès de Sr)
En ce qui concerne le BTO, une étude [17] a montré qu’un excès de Ti diminue la constante
diélectrique et qu’un léger excès de Ba (Ba/Ti = 1,01) permet de l’augmenter.
Ces valeurs doivent quand même être relativisées car elles sont proches des limites de
résolution de la technique utilisée.
2.1.6. Influence de l’épaisseur du film
De nombreux auteurs ont étudié l’influence de l’épaisseur des films minces sur la constante
diélectrique [18-20]. Ils rapportent une diminution de la constante diélectrique en dessous
d’une épaisseur critique. Dans le cas du STO, cette épaisseur critique se situe
approximativement entre 30 et 70 nm [9].
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