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Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

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tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007<br />

Chapitre 3 : <strong>Etu<strong>de</strong></strong> <strong>de</strong> <strong>capacités</strong> MIM <strong>à</strong> <strong>base</strong> <strong>de</strong> STO et BTO<br />

Nous pouvons égalem<strong>en</strong>t noter que l’épaisseur semble avoir une influ<strong>en</strong>ce sur les propriétés<br />

électriques. La diminution <strong>de</strong> la taille <strong>de</strong>s composants étant au c<strong>en</strong>tre <strong>de</strong>s préoccupations dans<br />

le mon<strong>de</strong> <strong>de</strong> la microélectronique, ce paramètre sera étudié plus <strong>en</strong> détails (influ<strong>en</strong>ce sur la<br />

capacité surfacique et les courants <strong>de</strong> fuite) dans le chapitre 5.<br />

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