Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 3 : Etude de capacités MIM à base de STO et BTO
tan delta (%)
9
8
7
6
5
4
3
2
1
1
2
3
4
5
6
7
8
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11
12
13
0
0 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500 550 600 650
Trecuit (°C)
Figure 3-14 : Variation des pertes diélectriques en fonction de la température de recuit. Cas du STO.
3.3. Analyse avec le logiciel LUMIERE® : effet des paramètres sur la
constante diélectrique
Afin de déterminer l’influence des différents paramètres de dépôt sur la constante diélectrique
du STO nous avons analysé les valeurs obtenues pour les échantillons recuits à 550°C
(Tableau 3-13) avec le logiciel LUMIERE®.
Tableau 3-13 : Constante diélectrique obtenue à une température de recuit de 550°C pour chaque
échantillon de STO.
N° de
l’échantillon
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
εr 97 90 82 86 84 104 88 94 97 100 105 96 97
3.3.1. 1 ère étude : prise en compte de tous les paramètres
Les épaisseurs de STO variant entre 45,9 et 63,4 nm, nous allons considérer l’épaisseur
comme un paramètre non contrôlé du plan d’expériences afin de ne négliger aucun effet.
Dans un premier temps, nous avons effectué une analyse des résultats avec le logiciel en
prenant en compte tous les paramètres définis précédemment, soit cinq paramètres.
Pour déterminer la loi donnant la constante diélectrique en fonction de ces facteurs, le logiciel
doit déterminer six constantes si on suppose un modèle linéaire sans interaction de la forme
suivante :
εr = a0 + a1.T + a2.VCP + a3.ICP + a4.DO2 +a5.Ep Equation 3-19
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