Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 6 : Capacités MIM STO/BTO
Chapitre 6 : Capacités MIM STO/BTO
Ce chapitre est consacré à l’élaboration et la caractérisation de capacités MIM à base de
multicouches SrTiO3/BaTiO3 déposés par IBS.
Dans un premier temps un état de l’art des dépôts SrTiO3/BaTiO3 ainsi que l’intérêt de ces
empilements sont présentés. Nous abordons ensuite la stratégie d’élaboration de nos
multicouches ainsi que la caractérisation électrique et physico-chimique des capacités.
Une caractérisation par microscopie électronique en transmission (MET) a également été
effectuée afin de mieux comprendre les phénomènes d’interface.
Sommaire__________________________________________________________________
1. Etat de l’art................................................................................................................213
1.1. Intérêt des multicouches STO/BTO.....................................................................213
1.2. Synthèse bibliographique ....................................................................................214
2. Elaboration des multicouches.....................................................................................218
2.1. Essais préliminaires.............................................................................................218
2.2. Réalisation des empilements ...............................................................................220
2.2.1. Choix des empilements................................................................................220
2.2.2. Elaboration des films...................................................................................221
3. Caractérisation...........................................................................................................221
3.1. Caractérisation physico-chimique........................................................................221
3.1.1. Observations MEB ......................................................................................221
3.1.2. Analyses SIMS............................................................................................222
3.2. Caractérisation électrique....................................................................................224
3.2.1. Constante diélectrique .................................................................................224
3.2.2. Linéarité......................................................................................................226
4. Microscopie électronique en transmission..................................................................227
4.1. Présentation ........................................................................................................227
4.2. Echantillon amorphe ...........................................................................................228
4.3. Echantillons cristallisés.......................................................................................231
4.3.1. Allure générale............................................................................................231
4.3.2. Interfaces.....................................................................................................234
5. Conclusion du chapitre ..............................................................................................237
Bibliographie......................................................................................................................239
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