Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 3 : Etude de capacités MIM à base de STO et BTO
engendre une certaine organisation des atomes qui demande une plus grande quantité
d’énergie pour se transformer en phase pérovskite que lorsque le dépôt est réalisé à
température ambiante.
Dans notre cas, afin de réduire cette température de transition nous avons donc intérêt à
réaliser nos dépôts de STO à température ambiante. Une analyse EXAFS (Extended X-ray
Absorption Fine Structure) permettant d’étudier les matériaux amorphes déposés à différentes
températures sera présentée dans le chapitre suivant afin de mieux comprendre les
phénomènes entrant en jeu.
3.5. Analyses complémentaires.
3.5.1. Caractérisation par DRX
Des échantillons de STO recuits à 650°C pendant 1h ont été analysés en diffractométrie θ-2θ
(Figure 3-17). Les spectres de diffraction obtenus montrent que tous les échantillons sont
cristallisés dans la phase cubique. Ils sont très similaires et ne présentent pas, à première vue,
de différence flagrante entre les échantillons pouvant expliquer des variations des propriétés
électriques.
Nous avons tenté de démontrer une influence des paramètres de dépôt sur la cristallisation, et
plus particulièrement sur l’orientation du STO, en analysant le rapport des intensités des pics
110/211 (seuls pics qui ne sont pas perturbés par les raies du Pt) appelé facteur d’orientation,
et sur la position du pic 211. Le tableau 3-17 présente les données issues des caractérisations
de diffractions X.
Il ressort de cette analyse que les paramètres influant sur l’orientation du STO sont les
paramètres relatifs au canon de pulvérisation (effet positif) et l’épaisseur (effet négatif).
La position du pic 211 dépend également des mêmes paramètres : une augmentation de la
tension de faisceau du canon principal provoque un décalage du pic vers les petits angles ce
qui indique une augmentation du paramètre de maille hors plan, alors que l’augmentation du
courant d’ions ou de l’épaisseur provoquent un décalage du pic vers les grands angles
indiquant une diminution du paramètre de maille.
Il semble donc difficile de faire une corrélation avec les réponses précédemment étudiées (εr
et Ttr).
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