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Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

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tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007<br />

Chapitre 4 : Li<strong>en</strong> <strong>en</strong>tre structure cristallographique et propriétés électriques<br />

1.2. Spectrométrie EXAFS (Ext<strong>en</strong><strong>de</strong>d X-ray Absorption Fine Structure) :<br />

"Structure Fine d’Absorption X après seuil"<br />

Cette technique d’analyse structurale, complém<strong>en</strong>taire <strong>de</strong> la diffraction X, s’est avérée<br />

indisp<strong>en</strong>sable car elle permet <strong>de</strong> son<strong>de</strong>r la structure locale <strong>à</strong> courte distance dans tous les<br />

matériaux : amorphes comme cristallins ou même liqui<strong>de</strong>s. Elle r<strong>en</strong>seigne sur<br />

l’<strong>en</strong>vironnem<strong>en</strong>t proche <strong>de</strong> l’élém<strong>en</strong>t sondé (nature chimique, nombre et distance <strong>de</strong>s<br />

premiers voisins).<br />

1.2.1. Principe <strong>de</strong> la spectrométrie EXAFS<br />

L’effet EXAFS permet la réalisation d’une véritable son<strong>de</strong> pour tester la structure locale,<br />

<strong>en</strong>tre 5 et 6 Å, autour <strong>de</strong> l’atome choisi comme référ<strong>en</strong>ce. Nous donnons dans ce qui suit une<br />

prés<strong>en</strong>tation très simplifiée du principe <strong>de</strong> <strong>base</strong> <strong>à</strong> l’origine <strong>de</strong> cette technique : un<br />

photoélectron est éjecté <strong>de</strong> l’atome son<strong>de</strong> par le photon X. Ce photoélectron se propage alors<br />

dans le composé sous la forme d’une on<strong>de</strong> sortante (sphérique <strong>de</strong> vecteur d’on<strong>de</strong> k croissant<br />

lorsque l’énergie <strong>de</strong>s photons X augm<strong>en</strong>te) qui est rétrodiffusée par les atomes voisins.<br />

L’on<strong>de</strong> sortante et l’on<strong>de</strong> rétrodiffusée provoqu<strong>en</strong>t au site <strong>de</strong> l’atome son<strong>de</strong> <strong>de</strong>s interfér<strong>en</strong>ces<br />

constructives ou <strong>de</strong>structives selon la distance R qui sépare les <strong>de</strong>ux atomes. L’état final<br />

produit par l’interfér<strong>en</strong>ce <strong>de</strong> ces <strong>de</strong>ux on<strong>de</strong>s génère <strong>de</strong>s modulations dans le spectre<br />

d’absorption qui après normalisation donne le signal EXAFS (Figure 4-4).<br />

Figure 4-4 : Aspect du spectre d’absorption d’un élém<strong>en</strong>t au voisinage d’une arête K, <strong>en</strong> fonction <strong>de</strong><br />

l’énergie <strong>de</strong>s photons X inci<strong>de</strong>nts. (a) forme théorique correspondant uniquem<strong>en</strong>t <strong>à</strong> l’excitation du niveau<br />

K, <strong>en</strong> l’abs<strong>en</strong>ce d’effet <strong>de</strong> voisinage. (b) forme observée avec structure fine autour et après l’arête. [1]<br />

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