Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 3 : Etude de capacités MIM à base de STO et BTO
On doit alors déterminer six constantes en supposant le modèle linéaire sans interaction :
Ttransition = a0 + a1.T + a3.IIAD + a5.ICP + a6.Ep+ a7.DO2 Equation 3-15
Cette analyse permet de montrer que le débit d’oxygène a une contribution moindre comparée
aux autres paramètres ; là encore on supposera qu’il a une influence négligeable sur la
température de transition.
2.4.2. 2 ème étude : prise en compte de quatre paramètres
Après élimination des tensions des canons à ions et du débit d’oxygène il reste quatre
paramètres. On doit ainsi déterminer cinq coefficients avec huit expériences.
Le modèle devient :
Ttransition = a0 + a1.T + a3.IIAD + a5. ICP + a7.Ep Équation 3-16
L’écart-type résiduel est σrésiduel = 24,8 et possède trois degrés de liberté.
Les coefficients obtenus pour les variables non réduites dans le cas du calcul ne prenant en
compte que les quatre paramètres retenus sont présentés dans le Tableau 3-8.
Tableau 3-8 : Valeurs des coefficients associés aux paramètres réduits du plan, calculées par le logiciel
LUMIERE® - Cas de la température de transition pour le BTO, quatre paramètres pris en compte.
Coefficients et paramètres
associés
Valeurs
a0 (constante) 285
a1 (T) 34,7998
a3 (IIAD) 33,4257
a5 (ICP) 109,6286
a7 (épaisseur) -258,0422
La contribution la plus importante est celle de l’épaisseur, suivie de celle du courant d’ions du
canon principal. La température et le courant d’ions du canon d’assistance apportent des
contributions équivalentes inférieures aux autres mais qui ne peuvent être négligées.
Seule la contribution de l’épaisseur est négative : quand on augmente l’épaisseur, la
température de transition diminue.
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