Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 6 : Capacités MIM STO/BTO
Figure 6-21 : Profils de densité dans STO et BTO, extraits de l’intensité du signal dans les images MET en
champ sombre.
On peut alors reprendre le modèle de Bruggeman présenté dans le chapitre 4 §1.2.6 pour
extrapoler la constante diélectrique qu’on aurait obtenue pour un empilement ne présentant
pas de cavité. On considère pour cela un mélange d’une phase C (cavités remplies d’air), de
constante diélectrique εC (εC = 1), et d’une phase M (multicouche sans cavités), de constante
diélectrique εM. Ce mélange présente une constante diélectrique totale εT égale à la constante
diélectrique calculée pour l’empilement (STO/BTO)2 soit εT = 105.
On a alors :
f
M
ε M − ε T
+ f
ε + 2ε
M
T
C
ε C − ε T
ε + 2ε
C
T
= 0
Équation 6-2
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