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Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

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tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007<br />

Chapitre 2 : Elaboration <strong>de</strong> films <strong>minces</strong> <strong>de</strong> STO et BTO<br />

Figure 2-13 : Illustration <strong>de</strong> l’équation 3 dans le cas du STO. [9]<br />

Notons néanmoins que toutes les étu<strong>de</strong>s m<strong>en</strong>ées jusqu’ici montr<strong>en</strong>t <strong>de</strong>s déviations par rapport<br />

<strong>à</strong> cette loi pour les très faibles et très forts champs. Plus précisém<strong>en</strong>t, expérim<strong>en</strong>talem<strong>en</strong>t, on<br />

distingue quatre régimes <strong>de</strong> conduction (Figure 2-14) :<br />

• Le régime ohmique, caractérisé par l’équilibre <strong>en</strong>tre <strong>de</strong>s courants thermiques dans les<br />

<strong>de</strong>ux directions, légèrem<strong>en</strong>t perturbé par le champ extérieur,<br />

• Le régime <strong>de</strong> saturation du courant, indép<strong>en</strong>dant <strong>de</strong> la t<strong>en</strong>sion,<br />

• Le régime Schottky, caractérisé par une diminution <strong>de</strong> la hauteur <strong>de</strong> barrière,<br />

• Le régime transitoire qui n’est pas correctem<strong>en</strong>t décrit par la théorie.<br />

Figure 2-14 : Régimes <strong>de</strong> conduction observés pour une capacité MIM <strong>à</strong> <strong>base</strong> <strong>de</strong> SrTiO3. [9]<br />

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