Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 6 : Capacités MIM STO/BTO
Figure 6-10 : Spectre SIMS de l’empilement (STO/BTO)5 non recuit.
Figure 6-11 : Spectre SIMS de l’empilement (STO/BTO) 5 recuit à 625°C.
Notons que les pentes des courbes sont probablement dues à la technique d’analyse. En effet,
lors de l’analyse SIMS, les échantillons subissent une abrasion et les mesures sont effectuées
au fur et à mesure. Si les couches sont rugueuses, dans les zones d’interfaces STO/BTO ou
BTO/STO, on va analyser les deux couches en même temps comme illustré sur la Figure
6-12.
c/s
c/s
1 . 0 0 E + 0 6
1 . 0 0 E + 0 5
1 . 0 0 E + 0 4
1 . 0 0 E + 0 3
1 . 0 0 E + 0 2
1 . 0 0 E + 0 1
1 . 0 0 E + 0 0
0 .0 E + 0 0 2 . 0 E + 0 1 4 .0 E + 0 1 6 .0 E + 0 1 8 .0 E + 0 1 1 . 0 E + 0 2 1 .2 E + 0 2
1 .0 0 E + 0 7
1 .0 0 E + 0 6
1 .0 0 E + 0 5
1 .0 0 E + 0 4
1 .0 0 E + 0 3
1 .0 0 E + 0 2
1 .0 0 E + 0 1
BTO
BTO
STO
STO
BTO
BTO
STO
STO
BTO
BTO
STO
1 .0 0 E + 0 0
0 .0 E + 0 0 2 .0 E + 0 1 4 .0 E + 0 1 6 .0 E + 0 1 8 .0 E + 0 1 1 .0 E + 0 2 1 .2 E + 0 2
n m
STO
n m
BTO
BTO
STO
STO
BTO
BTO
STO
STO
Pt
Pt
46Ti
16O133Cs
88Sr133Cs
138Ba133Cs
195Pt133Cs
46Ti
16O133Cs
88Sr133Cs
138Ba133Cs
195Pt133Cs
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