Diplomarbeit - Institut für Halbleiter
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5.7. KOHLENSTOFFABLAGERUNGEN 91<br />
5.7 Kohlenstoffablagerungen<br />
Trotz eines aufwendigen Pumpensystems (siehe Kap. 3.5) befindet sich Restgas in der Säule<br />
des TEM (Druck > 2 − 3 · 10 −5 P a). Dieses Restgas und jene Verunreinigungen, die beim<br />
Einführen des Probenhalters in die Säule eingebracht werden, reagieren mit dem hochener-<br />
getischen Elektronenstrahl.<br />
Abbildung 5.17: Durch das Aufbrechen von Kohlenstoffverbindungen des Restgases<br />
in der Säule verursacht durch den hochenergetischen Elektronenstrahl, kommt<br />
es zu Kohlenstoffablagerungen rund um jene Stelle, an der <strong>für</strong> längere Zeit mikroskopiert<br />
wurde.<br />
Source: fs0329 c ring.jpg,fs0329 c ring.eps<br />
Kohlenstoffhältige Verbindungen wie z.B. C-H-Verbindungen im Restgas und in Verun-<br />
reinigungen auf der Probe werden im Elektronenstrahl gecrackt. Dabei wird die chemische<br />
Verbindung aufgebrochen und der Kohlenstoff scheidet sich ab. Abbildung 5.17 zeigt Koh-<br />
lenstoffablagerungen in Form eines nicht geschlossenen Kohlenstoffrings, der entstand, als <strong>für</strong><br />
längere Zeit an einer Stelle der Probe mikroskopiert wurde.<br />
Solche Kohlenstoffablagerungen sind natürlich ausgesprochen störend beim Mikroskopie-
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