Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

3.6. FUNKTIONSWEISE EINES TEM 51
Abbildung 3.16: Verwendung des Ablenkspulenpaars zur (A) Verschiebung des
Elektronenstrahls und (B) Verkippung des Elektronenstrahls. [4]
Source: deflector coils.jpg,deflector coils.eps
sich sogenannter Ablenkspulen (engl.: deflector coils) welche immer paarweise angeordnet
sind (Abb. 3.16).
Die beiden Ablenkspulen werden so angesteuert, dass sich entweder eine Positionsver-
schiebung des Elektronenstrahls ergibt, wobei seine Richtung unverändert bleibt oder eine
Verkippung des Elektronenstrahl oder eine Mischung aus beiden Fällen. Solche Ablenkspu-
lenpaare befinden sich vor dem Kondensorlinsensystem und vor dem Objektivlinsensystem
(siehe Abb. 3.14). Ein weiterer häufiger Fehler im Kondensorsystem ist Astigmatismus. Die-
ser entsteht, wenn die Kondensorblende entweder nicht symmetrisch um die optische Achse
positioniert oder verschmutzt ist. Zum Ausgleich des Astigmatismus bedient man sich der
Stigmator Spule (engl.: condensor lens stigmator coil) (siehe Abb. 3.14), welche sich direkt
hinter der Kondensorblende befindet.
3.6.3 Beugungsbild und Transmissionsbild
Die Objektivlinse bzw. das Objektivlinsensystem führt parallel aus der Rückseite der Probe
austretende Elektronenstrahlen in der hinteren Fokusebene zu einem Beugungsbild zusam-
men. Das Transmissionsbild der Probe entsteht in der Bildebene des Objektivlinsensystems
(vgl. Abb. 3.6). Anhand dieses Diagramms und Abbildung 3.17 lassen sich die beiden Ar-
beitsmodi eines TEM verstehen.
1. Beugungsbild der Probe (engl.: diffraction mode)
2. Transmissionsbild der Probe (engl.: magnification mode)