Diplomarbeit - Institut für Halbleiter
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58 KAPITEL 3. DAS TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOP<br />
3.7.2 Realisierung<br />
Das optische Analogon wurde auf einer optischen Bank realisiert. Die Linsen, der Laser und<br />
die Halterung <strong>für</strong> das Strichgitter und das Zoomobjektiv wurden mit Reitern auf der optischen<br />
Bank fixiert. Als Zwischenlinse wurde das Zoomobjektiv einer Minolta Spiegelreflexkamera<br />
(35 - 70 mm) verwendet. Tabelle 3.2 listet die verwendeten Teile auf.<br />
TEM opt. Analogon Daten Position<br />
Thermische e-Quelle HeNe-Laser Klasse IIIb -1 cm<br />
Kondensorlinse nicht notwendig - -<br />
Probe Strichgitter 100 Striche/cm 0 cm<br />
Objektivlinse Glaslinse +50 mm ≈6 cm<br />
Zwischenlinse Zoomlinse 35 - 70 mm ≈26 cm<br />
Objektivlinse Glaslinse +50 mm ≈42 cm<br />
Betrachtungsschirm Leinwand ≈560 cm<br />
Tabelle 3.2: Auflistung der verwendeten Teile zur Realisierung des optischen Ana-<br />
logons <strong>für</strong> ein TEM.<br />
Abbildung 3.22: (A) Realisierung eines optischen Analogons zu einem TEM. Der<br />
HeNe-Laser ersetzt die Elektronenquelle. Fixbrennweitige Glaslinsen ersetzen die<br />
Objektiv- und die Projektionslinse. Eine Zoomlinse wird als Zwischenlinse benutzt.<br />
Als Probe dient ein Strichgitter (100/cm). (B) Transmissionsbild (Abbild des Strichgitters)<br />
und (C) Beugungsbild hervorgerufen durch Beugung des Laserlichtes am<br />
Strichgitter.<br />
Source: optical analogue.jpg,optical analogue.eps<br />
Abbildung 3.22 zeigt die Realisierung des Analogons auf einer optischen Bank sowie das
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