Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

106 Nachwort
Danksagung
Ich möchte allen jenen danken, die mich während meiner Diplomarbeit unterstützt und so
zum Gelingen dieser Diplomarbeit beigetragen haben.
Im besonderem möchte ich danken:
Prof. Dr. Friedrich Schäffler für das interessante und vielschichtige Thema, für die
¡
Unterstützung und die Anregungen zu meiner Diplomarbeit;
Prof. Dr. Günther Bauer für die Möglichkeit meine Diplomarbeit am Institut für
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Halbleiterphysik zu schreiben und für die Gelegenheit meinen erworbenen Fähigkeiten
im Rahmen eines Tutoriums in die Praxis umzusetzten;
DI Herbert Lichtenberger für die Einführung am TEM und dem AFM sowie die
¡
freundschaftliche Unterstüzung in allen Belangen;
DI Michael Mühlberger für die Unterstützung an der MBE und für die Zurverfügung-
¡
stellung der Si/SiGe-Proben;
¡ DI Marek Ratajski für die gute Zusammenarbeit im Rahmen der TSE;
¡ Günter Hesser für die Herstellung hervorragender TEM-Präparate;
¡ Johann Winkler für die Unterstützung beim Aufbau des optischen Analogons;
Doris Stögmüller, Susanne Lechner und Sabine Stadler für die administrative
¡
Hilfe im Sekretariat;
allen anderen Mitgliedern des Instituts für Halbleiter- und Festkörperphysik für die
¡
freundliche Arbeitsatmosphäre;
Ewald Wachmann, Process R&D Manager bei austriamicrosystems AG, Premstätten,
¡
Austria, für die Erlaubnis zur Veröffentlichung der Abbildung 5.14;
meinen Eltern Eva und Ing. Walter sowie meinem Bruder Dr. Wieland Schwinger
¡
MSc. für die umfassende und großzügige Unterstützung während der Jahre meines
Studiums;
¡ und ganz besonders danke ich Judy für ihren Ansporn, ihre Geduld und ihre Liebe.