Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

5.2. SILIZIUM - SILIZIUMKARBID 83
Fall einer P-Probe (Draufsicht auf Oberfäche) aus Silizium und Kohlenstoff bzw. einer Ver-
bindung aus den beiden (SiC) (siehe Kap. 5.2.1), sollte die Größenverteilung und die lokale
Verteilung der SiC-Ausscheidungen untersucht werden. Betrachtet man das Beugungsbild
dieser Probe, die neben Si auch SiC beinhaltet, so tauchen neben den Si-Beugungspunkten
auch jene auf, die durch Beugung am SiC entstehen (Abb. 5.11, B).
Abbildung 5.11: Aufnahmen einer Probe die neben kristallinem Silizium auch
kristallines SiC enthält. (B) zeigt das Beugungsbild eines Bereiches der Probe (Feldblende)
der sowohl kristallines Si als auch SiC enthält. (C) zeigt das Transmissionsbild,
wenn die vier Si 111-Beugungspunkte und der (000)-Reflex mit der Objektivblende
ausgewählt werden. (A) zeigt das Transmissionsbild, wenn mit der
Objektivblende nur ein von SiC hervorgerufener Beugungspunkt ausgewählt wird.
Dies hat zur Folge, dass jene Bereiche der Probe, die SiC enthalten, im Transmissionsbild
hell erscheinen.
Source: fs047x sic.jpg,fs047x sic.eps
Wie in Kapitel 3.6.5 gezeigt, kann die Objektiv-Blende dazu genutzt werden, um be-
stimmte Beugungsstrahlen auszuwählen, aus denen dann das Transmissionsbild aufgebaut
wird. Wählt man nur Beugungsstrahlen aus, die durch Beugung im Si-Kristall entstehen bzw.
zusätzlich den zentralen (000)-Reflex, so wird das Transmissionsbild Informationen über die
Verteilung von Silizium und Informationen über die Probendicke (von zentralem Reflex) ent-
halten (Abb. 5.11, C). Wählt man jedoch mit der Objektivblende einen Beugungsstrahl aus,
der vom SiC herrührt (Dark-Field, da zentraler Reflex nicht inkludiert) und bildet daraus
das Transmissionbild, so wird dies die örtliche Verteilung des SiC beinhalten. (Abb. 5.11A).
Jene Stellen, an denen sich SiC befindet, erscheinen dann hell, der Rest erscheint dunkel.
So ist es möglich mit dem TEM elementspezifisch eine örtliche Verteilung von verschiedenen
Elementen wiederzugeben. Abbildung 5.11A und Abbildung 5.11C zeigen den gleichen Bereich