05.12.2012 Aufrufe

Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

MEHR ANZEIGEN
WENIGER ANZEIGEN

Sie wollen auch ein ePaper? Erhöhen Sie die Reichweite Ihrer Titel.

YUMPU macht aus Druck-PDFs automatisch weboptimierte ePaper, die Google liebt.

6 KAPITEL 1. EINLEITUNG<br />

Abbildung 1.4: (A) Erstes in Serie produziertes Transmissionselektronenmikroskop,<br />

1939, Siemens. [3]. (B) Transmissionselektronenmikroskop Elmiskop, 1954,<br />

Siemens. [3]<br />

Source: early tems.jpg, early tems.eps<br />

Nach dem 2. Weltkrieg konnte ein neues verbessertes Mikroskop entwickelt werden - das<br />

Elmiskop (Abb. 1.4B). Die verbesserte Optik erlaubte eine maximale Endvergrößerung von<br />

100.000×. [3]<br />

Ab 1957 konnte Ernst Ruska die Entwicklung von immer leistungsfähigeren Mikroskopen<br />

an einem eigens <strong>für</strong> ihn gegründeten <strong>Institut</strong> <strong>für</strong> Elektronenmikroskopie der Max-Planck-<br />

Gesellschaft fortführen. Verbesserte Abbildungsoptiken erhöhten das Auflösungsvermögen<br />

dieser Geräte auf 1,4 ˚A [3]. Erstmals war es möglich atomare Auflösung zu erzielen.<br />

Erst 1986 wurde an Ernst Ruska gemeinsam mit anderen Wissenschaftlern, die sich um<br />

die Entwicklung der Elektronenmikroskopie verdient gemacht haben, der Nobel-Preis <strong>für</strong><br />

Physik verliehen.<br />

1.2.3 Frühe Entwicklungen außerhalb Deutschlands<br />

Ingenieure und Wissenschaftler in Übersee nahmen die Idee von Ruska auf und versuchten<br />

ihrerseits Transmissionselektronenmikroskope zu entwickeln und zur Serienreife zu führen. An<br />

der Universität von Toronto in Kanada bauten Wissenschaftler 1938 das sogenannte Toronto<br />

Model Electron Microscope. [5]<br />

Auch in Japan versuchte man an der Entwicklung rund um die Elektronenmikroskopie<br />

teilzuhaben. 1939 wurde das Japan Electron Optics Laboratory - JEOL gegründet [5], welches

Hurra! Ihre Datei wurde hochgeladen und ist bereit für die Veröffentlichung.

Erfolgreich gespeichert!

Leider ist etwas schief gelaufen!