Diplomarbeit - Institut für Halbleiter
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6 KAPITEL 1. EINLEITUNG<br />
Abbildung 1.4: (A) Erstes in Serie produziertes Transmissionselektronenmikroskop,<br />
1939, Siemens. [3]. (B) Transmissionselektronenmikroskop Elmiskop, 1954,<br />
Siemens. [3]<br />
Source: early tems.jpg, early tems.eps<br />
Nach dem 2. Weltkrieg konnte ein neues verbessertes Mikroskop entwickelt werden - das<br />
Elmiskop (Abb. 1.4B). Die verbesserte Optik erlaubte eine maximale Endvergrößerung von<br />
100.000×. [3]<br />
Ab 1957 konnte Ernst Ruska die Entwicklung von immer leistungsfähigeren Mikroskopen<br />
an einem eigens <strong>für</strong> ihn gegründeten <strong>Institut</strong> <strong>für</strong> Elektronenmikroskopie der Max-Planck-<br />
Gesellschaft fortführen. Verbesserte Abbildungsoptiken erhöhten das Auflösungsvermögen<br />
dieser Geräte auf 1,4 ˚A [3]. Erstmals war es möglich atomare Auflösung zu erzielen.<br />
Erst 1986 wurde an Ernst Ruska gemeinsam mit anderen Wissenschaftlern, die sich um<br />
die Entwicklung der Elektronenmikroskopie verdient gemacht haben, der Nobel-Preis <strong>für</strong><br />
Physik verliehen.<br />
1.2.3 Frühe Entwicklungen außerhalb Deutschlands<br />
Ingenieure und Wissenschaftler in Übersee nahmen die Idee von Ruska auf und versuchten<br />
ihrerseits Transmissionselektronenmikroskope zu entwickeln und zur Serienreife zu führen. An<br />
der Universität von Toronto in Kanada bauten Wissenschaftler 1938 das sogenannte Toronto<br />
Model Electron Microscope. [5]<br />
Auch in Japan versuchte man an der Entwicklung rund um die Elektronenmikroskopie<br />
teilzuhaben. 1939 wurde das Japan Electron Optics Laboratory - JEOL gegründet [5], welches
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