Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

5.1. SILIZIUM 75
nicht das geeignete Mittel, um aus Beugungsbildern Atomebenenabstände herauszurechnen.
Kristallebenenabstand (d) [Ang]
3,5
3,0
2,5
2,0
1,5
1,0
0,5
0,0
{111}
aus Miller-Indizes berechneter Wert: theor
aus Beugungsbild berechneter Wert: calc
Quotient: calc / theor
{022}
{311}
{004}
durchschnittlicher
Quotient = 0,926
(ideal 1,0)
0,004 0,005 0,006 0,007 0,008 0,009 0,010 0,011
Bragg-Winkel ( B ) [deg]
source: fs0352.tif, fs0528.tif
Abbildung 5.4: Vergleich der aus Beugungsbildern (fs0352.tif, fs0528.tif) gewonnenen
Ebenenabstände θcalc (entsprechend Glg. 5.2) mit den Ebenenabständen berechnet
aus der Gitterkonstanten und den Miller-Indizes θtheor.
Source: planedistance.jpg,planedistance.eps
Betrachtet man Abbildung 5.2 genauer, so fällt auf, dass nicht alle möglichen Kombi-
nationen der Indizes (hkl) vorkommen bzw. dass im X-Beugungsbild zwei Beugungspunkte
nicht mit Indizes versehen wurden. Dies hat folgende Gründe:
1. Aufgrund von Symmetrieeigenschaften des Si-Kristalls gelten für die Indizes (h,k,l)
folgende Auswahlregeln.
X-Probe :
P-Probe :
alle h,k,l ungerade oder
¡
alle h,k,l gerade und die Summe (h+k+l) ein Vielfaches von 4.
¡
¡ alle h,k,l gerade und die Summe (h+k+l) ein Vielfaches von 4.
2. Die nicht indizierten Beugungspunkte entstehen, wenn ein schon gebeugter Strahl in-
nerhalb des Kristalls noch einmal gebeugt wird. Die hellen Punkte zwischen (000) und