Diplomarbeit - Institut für Halbleiter
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92 KAPITEL 5. CHARAKTERISIERUNG VON NANOSTRUKTUREN<br />
ren, da sie die Probe überdecken und diese dann an solchen Stellen nicht mehr elektronen-<br />
transparent ist. Deshalb ist immer darauf zu achten, dass so wenig Schmutz wie möglich mit<br />
der Probe in die Säule eingeschleppt wird und dass der Druck innerhalb der Säule möglichst<br />
gering ist. Es sollte auch vermieden werden, zu lange an einer Stelle zu mikroskopieren.
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