Diplomarbeit - Institut für Halbleiter
Diplomarbeit - Institut für Halbleiter
Diplomarbeit - Institut für Halbleiter
Erfolgreiche ePaper selbst erstellen
Machen Sie aus Ihren PDF Publikationen ein blätterbares Flipbook mit unserer einzigartigen Google optimierten e-Paper Software.
62 KAPITEL 4. PROBENPRÄPARATION<br />
4.1 Teilschritte der Probenpräparation<br />
Abbildung 4.1: Probenpräparation nach Gatan bzw. M. Teuchtmann (einer Si-<br />
Probe), Schritte 1-4. [16, 19]<br />
Source: x preparation step1-4.jpg,x preparation step1-4.eps<br />
Schritt 1: Probenstücke. Zuerst müssen aus dem Ausgangsmaterial kleinere Stücke (4 x<br />
5mm) herausgeschnitten werden (Abb. 4.1, step 1). Dies kann durch Zersägen oder<br />
durch Verwendung eines Ultraschallbohrers (Abb. 4.3) erfolgen.
Change language