Diplomarbeit - Institut für Halbleiter
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52 KAPITEL 3. DAS TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOP<br />
Abbildung 3.17: Strahlendiagramm der beiden Grundarbeitsmodi eines TEM:<br />
(A) bei Projektion des Transmissionsbildes und (B) bei Projektion des Beugungsbildes<br />
der Probe. Für die Projektion des Transmissionsbildes auf den Betrachtungsschirm,<br />
ist die Brennweite der Zwischenlinse (engl.: intermediate lens) so eingestellt,<br />
dass ihre Objektebene mit der Bildebene der Objektivlinse zusammenfällt.<br />
Die nachfolgende Projektionslinse (engl.: projector lens) projiziert das Bild der Zwischenlinse<br />
auf den Betrachtungsschirm.<br />
Für die Projektion des Beugungsbildes einer Probe wird die Brennweite der Zwischenlinse<br />
so gewählt, dass ihre Objektebene mit der Brennebene der Objektivlinse<br />
zusammenfällt. Die Projektionslinse projiziert das Bild der Zwischenlinse wieder<br />
auf den Betrachtungsschirm. [4]<br />
Source: mag diff graphic.jpg,mag diff graphic.eps<br />
Für die Projektion des Transmissionsbildes auf den Betrachtungsschirm, ist die Brennweite<br />
der Zwischenlinse (engl.: intermediate lens) so eingestellt, dass ihre rückseitige Objektebe-