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Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

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52 KAPITEL 3. DAS TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOP<br />

Abbildung 3.17: Strahlendiagramm der beiden Grundarbeitsmodi eines TEM:<br />

(A) bei Projektion des Transmissionsbildes und (B) bei Projektion des Beugungsbildes<br />

der Probe. Für die Projektion des Transmissionsbildes auf den Betrachtungsschirm,<br />

ist die Brennweite der Zwischenlinse (engl.: intermediate lens) so eingestellt,<br />

dass ihre Objektebene mit der Bildebene der Objektivlinse zusammenfällt.<br />

Die nachfolgende Projektionslinse (engl.: projector lens) projiziert das Bild der Zwischenlinse<br />

auf den Betrachtungsschirm.<br />

Für die Projektion des Beugungsbildes einer Probe wird die Brennweite der Zwischenlinse<br />

so gewählt, dass ihre Objektebene mit der Brennebene der Objektivlinse<br />

zusammenfällt. Die Projektionslinse projiziert das Bild der Zwischenlinse wieder<br />

auf den Betrachtungsschirm. [4]<br />

Source: mag diff graphic.jpg,mag diff graphic.eps<br />

Für die Projektion des Transmissionsbildes auf den Betrachtungsschirm, ist die Brennweite<br />

der Zwischenlinse (engl.: intermediate lens) so eingestellt, dass ihre rückseitige Objektebe-

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