Diplomarbeit - Institut für Halbleiter
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34 KAPITEL 3. DAS TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOP<br />
Abbildung 3.5: (A) Der Effekt steigender Wehnelt-Vorspannung auf den Fluss<br />
emittierter Elektronen (i - iii). (B) Beziehung zwischen der Wehnelt-Vorspannung<br />
und des Emissionsstroms. [4].<br />
Source: wehnelt bias.jpg,wehnelt bias.eps<br />
Einheit<br />
Wolfram LaB6 Feld-Emission<br />
Austrittsarbeit (ΦoderEW ) eV 4,5 2,4 4,5<br />
Richardson-Konstante (A)<br />
A<br />
m 2 K 2 6 × 10 5 4 × 10 5<br />
Arbeitstemperatur T K 2700 1700 300<br />
Stromdichte JC<br />
A<br />
m2 5 × 104 106 10 10<br />
Cross-Over Durchmesser d0 µm 50 10 1000<br />
Tabelle 3.1: Charakteristische Größen der drei Hauptelektronenquellen, bei einer<br />
Beschleunigungsspannung von 100kV [4]<br />
über einen Bias-Widerstand eingestellt. Sie bestimmt die Strahlintensität und den kleinsten<br />
Strahldurchmesser d0 ≈ 50µm am sogenannten Cross-Over. Durch Kopplung von Kathode<br />
und Wehnelt über den Bias-Widerstand findet eine automatische Strahlstromstabilisierung<br />
(engl.: self-biased triode). [11] Abbildung 3.5 zeigt den Zusammenhang zwischen der Wehnelt-<br />
Vorspannung und dem Fluss der emittierten Elektronen. Für eine interaktive Simulation einer<br />
Triode siehe [12]
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