Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

34 KAPITEL 3. DAS TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOP
Abbildung 3.5: (A) Der Effekt steigender Wehnelt-Vorspannung auf den Fluss
emittierter Elektronen (i - iii). (B) Beziehung zwischen der Wehnelt-Vorspannung
und des Emissionsstroms. [4].
Source: wehnelt bias.jpg,wehnelt bias.eps
Einheit
Wolfram LaB6 Feld-Emission
Austrittsarbeit (ΦoderEW ) eV 4,5 2,4 4,5
Richardson-Konstante (A)
A
m 2 K 2 6 × 10 5 4 × 10 5
Arbeitstemperatur T K 2700 1700 300
Stromdichte JC
A
m2 5 × 104 106 10 10
Cross-Over Durchmesser d0 µm 50 10 1000
Tabelle 3.1: Charakteristische Größen der drei Hauptelektronenquellen, bei einer
Beschleunigungsspannung von 100kV [4]
über einen Bias-Widerstand eingestellt. Sie bestimmt die Strahlintensität und den kleinsten
Strahldurchmesser d0 ≈ 50µm am sogenannten Cross-Over. Durch Kopplung von Kathode
und Wehnelt über den Bias-Widerstand findet eine automatische Strahlstromstabilisierung
(engl.: self-biased triode). [11] Abbildung 3.5 zeigt den Zusammenhang zwischen der Wehnelt-
Vorspannung und dem Fluss der emittierten Elektronen. Für eine interaktive Simulation einer
Triode siehe [12]