Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

20KAPITEL 2. GRUNDLAGEN DER TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
Abbildung 2.5: Eine ebene kohärente Elektronenwelle wird an einer Schicht von
Atomen gestreut und generiert sekundäre Elementarwellen. Die Interferenz dieser
führt zu einer winkelabhängigen Intensitätsverteilung. [4].
Source: huygens interference.jpg,huygens interference.eps
Abbildung 2.6: Braggsche Beschreibung der Beugung als Reflexion einer ebenen
Welle mit Einfallswinkel θ und Wellenlänge λ an Atomebenen mit Abstand d. Der
Wegunterschied zwischen den beiden gestreuten Wellen ist AB +BC = 2d·sinθ [4].
Source: bragg wavereflection.jpg,bragg wavereflection.eps
Aus der Braggschen Gleichung (Glg. 2.14) folgt, dass näher beisammenliegende Atomschich-
ten zu größeren Streuwinkeln führen. Diese reziproke Abhängigkeit zwischen Atomebenenab-
stand und Streuwinkel ist für die Analyse von Beugungsbildern von großer Bedeutung. Kennt
man die Wellenlänge und misst man den Streuwinkel experimentell (im TEM) aus, so lässt
dies Rückschlüsse auf den Atomebenenabstand zu [4].