Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

5.1. SILIZIUM 77
Die beiden Vektoren �a und � b entsprechen im Fall einer X-Probe den beiden Kristallrichtungen
[111] und [111] und somit den Vektoren �a = (−1, −1, 1) und � b = (1, −1, 1, ). Im Fall von P-
Proben ist �a = (1, 0, 0) und � 53¢
00¢
b = (0, 1, 0). Daraus ergeben sich folgende Winkel:
αX
αP
=
=
� � � �
(−1, −1, 1) • (1, −1, 1)
1
arccos √ √ = arccos = 70,
3 · 3
3
� � � �
(1, 0, 0) • (0, 1, 0)
0
arccos √ √ = arccos = 90,
1 · 1
1
(5.5)
(5.6)
Diese Winkel müssen sich auch in Aufnahmen von X-Proben bzw. P-Proben bei atoma-
Abbildung 5.6: Hochaufgelöstes kristallines Silizium in [011]-Richtung, X-Probe.
(Vergrößerung 1,5 Mio) Der Winkel zwischen zwei 〈111〉-Richtungen kann herausgemessen
werden. Der bekannte Ebenenabstand von 3,14 ˚Ain 〈111〉-Richtung kann
dazu verwendet werden, den Vergrößerungsbalken zu eichen bzw. eine Abweichung
zu ermitteln.
Source: fs0204 si hires.jpg,fs0204 si hires.eps
rer Auflösung wiederfinden. Abbildung 5.6 zeigt eine Aufnahme einer X-Probe mit atomarer
Auflösung. An dieser Stelle muss der Begriff der atomaren Auflösung jedoch insofern etwas
eingeschränkt werden, da das JEM2011 von JEOL mit seiner spezifizierten Punktauflösung
von 2, 3 ˚A [14] nicht in der Lage ist, die beiden eng beisammen liegenden Si-Atome an den
Grundseiten der Sechsecke (Abstand: 1,33 ˚A), als getrennte Punkte aufzulösen. In der Abbildung
erscheinen sie als ein Punkt. Sehr wohl ist jedoch das JEM2011 in der Lage den