Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

24KAPITEL 2. GRUNDLAGEN DER TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
Raumdiagonale der Einheitszelle eines kubischen Kristallgitters. Er wird mit [111] bezeichnet.
Der Vektor [001], der durch alle zur xy-Ebene parallelen Ebenen definiert ist, schaut in z-
Richtung. Beinhaltet solch ein Vektor eine negative Richtungskomponente, so wird diese mit
einem Überstrich über dem Miller-Index angegeben; [001] schaut demnach in die Richtung
der negativen z-Achse.
Ist die Probe so ins TEM eingebaut, dass der Elektronenstrahl genau entlang der Raum-
diagonale der kubischen Einheitszelle die Probe durchdringt, so spricht man von einer [111]-
Orientierung der Probe oder kurz von einer [111]-Probe.
Aufgrund von Symmetrieeigenschaften sind sowohl einige Kristallrichtungen als auch eini-
ge Kristallebenen zueinander äquivalent und können zusammengefasst werden. 〈100〉 steht so
für die Richtungen [100], [010], [001], [100], [010] und [001]. {200} steht für die Kristallebenen
(200), (020), (002), (200), (020) und (002).
2.4.4 Der Beugungsvektor � K bzw. �g
Äquivalent zur Beschreibung von Bragg ist jene, die der eintreffenden und gebeugten Wel-
lenfront je einen Vektor � kI und � kD mit | � kI| = 1
λ
in Ausbreitungsrichtung zuordnet. (Abb.
2.10) Da elastische Beugung angenommen wird gilt: | � kI| = | � kD| [4] Aus der geometrischen
Abbildung 2.10: Definition des Beugungsvektors. (A) Die Ausbreitungsrichtung
der im Winkel θ zur Atomebene eintreffenden Welle ist �kI, jene der gebeugten Welle
ist �kD. (B) Der Beugungsvektor � K ergibt sich aus deren Differenz ( �kD − �kI) (C)
Aus der geometrischen Beziehung ergibt sich sin θ = � K . [4].
Source: image.jpg,image.eps
2| � kI |