Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

Inhaltsverzeichnis
Vorwort i
Eidesstattliche Erklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . i
Kurzfassung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . iii
1 Einleitung 1
1.1 Faszination Transmissionselektronenmikroskopie . . . . . . . . . . . . . . . . 1
1.1.1 Baustein der Materie - das Atom . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
1.2 Geschichte der Transmissionselektronenmikroskopie . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2.1 Das Elektron - Teilchen und Welle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2.2 Entwicklungen durch Ernst Ruska . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.3 Frühe Entwicklungen außerhalb Deutschlands . . . . . . . . . . . . . 6
1.2.4 Spätere Entwicklungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.2.5 Ausblick . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2 Grundlagen der Transmissionselektronenmikroskopie 11
2.1 Das Auflösungsvermögen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.2 Wechselwirkung zwischen Elektronen und Materie . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.3 Streuung und Beugung von Elektronen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
2.3.1 Elastische und Inelastische Streuung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2.3.2 Das Konzept des Streuquerschnittes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2.3.3 Der differentielle Streuquerschnitt . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
2.3.4 Der atomare Streufaktor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
v