Diplomarbeit - Institut für Halbleiter
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Kapitel 3<br />
Das<br />
Transmissionselektronenmikroskop<br />
3.1 Aufbau eines Transmissionselektronenmikroskops<br />
Wie schon im Kapitel 1.1 bemerkt, ist der Aufbau eines Transmissionselektronenmikrokops<br />
(TEM) mit dem eines optischen Durchlichtmikroskops (DLM) vergleichbar (Abb. 3.1). Statt<br />
sichtbarem Licht und Glaslinsen wie im DLM werden im TEM beschleunigte Elektronen und<br />
magnetische Linsen verwendet, um die Probe zu durchstrahlen und abzubilden.<br />
Die Elektronen treten aus einer Elektronenquelle aus, werden beschleunigt und in ei-<br />
nem System aus magnetischen Linsen zu einem parallelen Strahl zusammengefasst. Dieser<br />
durchdringt die Probe. Dabei werden einige der Elektronen an den Kristallebenen der Probe<br />
gebeugt (siehe Kap. 2). Die Objektivlinse vergrößert das Tranmissionsbild der Probe, welches<br />
über ein System aus Zwischenlinse und einer Projektionslinse auf den Betrachtungsschirm ab-<br />
gebildet wird. Der Zwischenlinse kommt, wie in Kapitel 3.6.3 gezeigt werden wird, noch eine<br />
besondere Aufgabe zu.<br />
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