Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

3.6. FUNKTIONSWEISE EINES TEM 53
Abbildung 3.18: Kristallines Silizium (X-Probe), zwei verschiedene Ebenenscharen
sind hervorgehoben (B) und das dazugehörige Beugungsbild (A).
Source: diff vs real.jpg,diff vs real.eps
ne mit der Bildebene der Objektivlinse zusammenfällt. Die nachfolgenden Projektionslinsen
(engl.: projector lens) projiziert das Bild der Zwischenlinse auf den Betrachtungsschirm indem
sie das Bild der Zwischenlinse (Abbild der Probe) auf den Betrachtungsschirm fokussiert.
Für die Projektion des Beugungsbildes der Probe wird die Brennweite der Zwischenlinse
so gewählt, dass ihre Objektebene mit der Brennebene der Objektivlinse zusammenfällt. Die
Projektionslinse fokussiert das Bild der Zwischenlinse (das Beugungsbild der Objektivlinse)
wieder auf den Betrachtungsschirm.
In beiden Fällen bleiben die Brennweiten der Objektivlinse (fO) und der Projektionslinse
(fP ) unverändert. Nur die Brennweite der Zwischenlinse wird beim Wechsel zwischen Trans-
missionsbild (fZmag) und Beugungsbild (fZdiff ) derart verändert, dass im ersten Fall, die
Bildebene der Objektivlinse und im zweiten Fall die Fokusebene der Objektivlinse mit der
Objektebene der Zwischenlinse zusammenfällt (siehe Abb. 3.17).
Das Umschalten zwischen den beiden Darstellungsmodi erfolgt ausschließlich über die
Änderung der Brennweite (Stärke) der Zwischenlinse; die Brennweiten der anderen Linsen
bleiben wie schon erwähnt unverändert. Mit einem TEM ist es also möglich auf Knopfdruck
zwischen dem Beugungsbild und dem Transmissionsbild umzuschalten. Abbildung 3.18 zeigt
eine X-Probe aus kristallinem Silizium mit eingebetteter Kohlenstoffschicht und das dazu-