Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

8 KAPITEL 1. EINLEITUNG
der Elektronenquelle. Während der 80er Jahre konnte das Auflösungsvermögen bis auf 1,0 ˚A
gesteigert werden. Die Mikroprozessor-Steuerung verbesserte und erleichterte den Betrieb der
Mikroskope. Die Möglichkeiten der Analyse und Automation wurden dadurch gesteigert.
Im Rahmen meiner Diplomarbeit stand mir das JEOL JEM-2011 HR FasTEM (Abb.
1.6A) der ”Technischen Service Einheit (TSE)” der Technisch-Naturwissenschaftlichen Fakultät
der Johannes Kepler Universität zur Verfügung. Dieses Gerät ist mit einer einer LaB6-
Elektronenquelle (siehe Kap. 3.2.2) ausgestattet und mit einem Auflösungsvermögen von 2,3 ˚A
spezifiziert.
Abbildung 1.6: (A) Jem2011 HR FasTEM der ”Technischen Service Einheit”, der
Technisch-Naturwissenschaftlichen Fakultät der Johannes Kepler Universität.
(B) Ultrahochspannungstransmissionselektronenmikroskop mit einer Beschleunigungsspannung
von 3 MV von JEOL
1.2.5 Ausblick
Source: jem2011 jeoluhv.jpg, jem2011 jeoluhv.eps
Im nächsten Kapitel werden die Grundlagen der Elektronenmikroskopie wie Auflösungsvermögen,
Wechselwirkung zw. Elektronen und Materie, Streuung und Beugung von Elektronen, sowie