Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

1.2. GESCHICHTE DER TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE 7
sich besonders durch Produktvielfalt auszeichnet.
1.2.4 Spätere Entwicklungen
Die 40er und 50er-Jahre des vorigen Jahrhunderts zeichneten sich in Europa wie auch in
Übersee durch eine rasante Entwicklung und Verbesserung in Hinblick auf Instrument und
Technik aus. Eine Stabilisierung der Spannungsversorgung und der Linsenströme sowie bes-
sere Elektronenquellen erlaubten eine höhere Auflösung und höhere maximale Vergrößerung
(Abb. 1.5 [5]. Auch die Probenpräparationstechnik - eine essentielle Voraussetzung zur Erlan-
gung qualitativ hochwertiger Bilder - machte große Fortschritte. In den 60er-Jahren ermöglichten
Vergrößerung
[logarithmische Skala]
1000000
100000
10000
1000
100
10
1933
1938
1931: 14,4 x
1957
1954: 100.000 x
1995: 1,5 Mio x
1
1920 1930 1940 1950 1960 1970 1980 1990 2000
Quelle: Nobel Lecture Ruska, 1986, The Nobel Foundation;
http://www.nobel.se/physics/laureates/1986/ruska-autobio.html
maximale Vergrößerung der
besten Elektronenmikroskope
von 1931 bis 1995
Abbildung 1.5: Maximale erreichte Vergrößerung von Elektronenmikroskopen von
1931 bis 1995. [6]
Source: max magnification.jpg,max magnification.eps
die besten käuflichen Transmissionselektronenmikroskope eine Auflösung von ungefähr 0,3 nm
(3 ˚A). Ein neuer Ansatz in der Materialforschung kam ebenfalls in den 60er-Jahren auf, die Ultrahochspannungselektronenmikroskopie.
Mit Beschleunigungsspannungen von bis zu 3 Mio.
Volt (3 MV) (Abb. 1.6B) [5] versuchte man durch dickere Proben bzw. Proben aus schwereren
Elementen zu dringen.
Die 70er Jahre brachten neben einer allgemeinen Weiterentwicklung der Elektronenmikroskopie
eine Steigerung der Helligkeit der Abbildungen durch Verwendung neuer Materialien in
Jahr