Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

4.1. TEILSCHRITTE DER PROBENPRÄPARATION 65
Schritt 5: Einkleben des Bohrkerns in ein Messingröhrchen. Der im vorherigen
Schritt hergestellte Bohrkern wird mittels einer Vorrichtung in ein Messingröhrchen ein-
geklebt (Abb. 4.2, step 5). Die Klebefuge zwischen der Innenseite des Messingröhrchen
und dem Bohrkern darf weder zu groß noch zu klein sein, um eine optimale Haftung
durch den Kleber zu gewährleisten. Das Aushärten des Klebers erfolgt wieder auf einer
Heizplatte mit der schon weiter oben erwähnten Temperatur und Aushärtezeit.
Der Aussendurchmesser des Messingröhrchens ist dem Probenhalter, mit dem die Probe
später ins TEM eingeführt wird, angepasst. Die meisten Probenhalter sind für Proben
mit 3 mm Durchmesser ausgelegt.
Abbildung 4.4: Präzessionssäge der Firma Well mit einem diamantbeschichtetem
Schneidedraht mit einem Durchmesser von 0,22 mm. [20]
Source: diamond wire saw.jpg,diamond wire saw.eps
Schritt 6: Zersägen des Messingröhrchens in Scheiben und Schleifen. Nach dem
Aushärten des Klebers werden vom Messingröhrchen samt eingeklebtem Bohrkern ca.
0, 5mm dicke Scheiben heruntergeschnitten. Dazu wurde in meinem Fall eine Präzessions-
diamantdrahtsäge (Abb. 4.4) verwendet. Der Durchmesser des verwendeten Drahtes
beträgt 0,22mm und ist mit 40µm großen Diamantkörnern beschichtet [20].
Es entstehen Scheibchen, in deren Zentrum sich das Probenmaterial befindet, umgeben
von einem Messingring (Abb. 4.2, step 6). Dieser hat vor allem die Aufgabe, der Probe
als ganzes Stabilität zu geben, um die weiteren Präparationsschritte, bei denen die
Probe stellenweise auf unter 100nm ausgedünnt wird, unbeschadet zu überstehen.