Diplomarbeit - Institut für Halbleiter
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3.6. FUNKTIONSWEISE EINES TEM 55<br />
3.6.5 Bright-Field und Dark-Field<br />
Unabhängig von der Art der Probe bzw. vom Bereich der Probe, der vom Elektronenstrahl<br />
durchdrungen wird, das Beugungsbild wird immer einen hellen zentralen Lichtfleck (engl.:<br />
central spot) beinhalten [4]. Der zentrale Spot resultiert aus den beim Durchgang durch die<br />
Probe nicht gebeugten Elektronen. Rund um diesen Spot ergeben sich die Spots der gebeugten<br />
Elektronen. Je nach Dicke, kristalliner Struktur und Qualität der Probe sind diese Spots mehr<br />
oder weniger scharf begrenzt.<br />
Abbildung 3.20: Verwendung der Objektivblende. (a) bright-field: der zentrale<br />
Spot wird durch die Objektivblende nicht ausgeblendet, d.h. ausgewählt. (b) darkfield:<br />
ein anderer als der zentrale Spot, wird durch die Objektivblende ausgewählt.<br />
(c) tilted dark-field: der auf die Probe einfallende Elektronenstrahl wird verkippt,<br />
sodass ein Nebenspot in das Zentrum des Beugungsbildes rückt (auf die optische<br />
Achse) und dort mit der Objektivblende ausgewählt wird. [4]<br />
Source: objective aperture.jpg,objective aperture.eps<br />
Um in einem TEM ein Transmissionsbild einer Probe zu generieren und auf den Betrach-<br />
tungsschirm zu projizieren, werden ein oder mehrere Beugungsstrahlen (Beugungsspots) mit<br />
der Objektivblende (engl.: objective aperture) im diffraction mode - also im Beugungsbild -
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