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Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

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54 KAPITEL 3. DAS TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOP<br />

gehörige Beugungsbild. Das Transmissionsbild gibt den realen Raum (Abbild der Probe) wie-<br />

der, das Beugungsbild den reziproken Raum (Abbild der Elektronenbeugung) des reziproken<br />

Gitters (siehe Kap. 2.4.5).<br />

3.6.4 Selected Area Diffraction<br />

Das Beugungsbild setzt sich prinzipiell aus allen aus der Probe austretenden Elektronen<br />

zusammen. Oft ist man jedoch nicht am Beugungsbild der gesamten Probe, sondern nur an<br />

einem kleinen Teil (engl.: selected area) der Probe interessiert. Um diesen Bereich auswählen<br />

zu können, bedient man sich der sogenannten Feldblende (engl.: selected area diffraction<br />

aperture). Diese Blende wird in der Bildebene der Zwischenlinse positioniert und schränkt<br />

so indirekt jenen Bereich auf der Probe ein, aus dem transmittierte Elektronen zu einem<br />

Beugungsbild zusammengefasst werden (siehe Abb. 3.17).<br />

Abbildung 3.19: Strahlendiagramm zur Funktionsweise der Objektivblende<br />

(engl.: selected area diffraction aperture). Das Einbringen einer Blende in die hintere<br />

Bildebene, kommt einer virtuellen Blende vor der Probe gleich. Durch Positionierung<br />

dieser Blende wird nur ein bestimmter Bereich der Probe mit einem Elektronenstrahl<br />

durchleuchtet. [4]<br />

Source: sad aperture.jpg,sad aperture.eps<br />

Bei der Feldblende handelt es sich um eine sogenannte virtuelle Blende, da sie nicht auf<br />

die Probe selbst Einfluss nimmt (Blende und Probe können sich nicht in der gleichen Ebene<br />

befinden), sondern auf das rückseitige Abbild der Probe (Abb. 3.19) [4]. Es handelt sich<br />

also bei der virtuellen Probe um eine äquivalente Blende in der konjugierten Ebene. Durch<br />

Positionierung und Wahl der Größe der Feldblende kann man einen bestimmten Bereich<br />

auf der Probe auswählen und von diesem dann das Beugungsbild (SAD-Beugungsbild) 3.17<br />

darstellen.

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