Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

54 KAPITEL 3. DAS TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOP
gehörige Beugungsbild. Das Transmissionsbild gibt den realen Raum (Abbild der Probe) wie-
der, das Beugungsbild den reziproken Raum (Abbild der Elektronenbeugung) des reziproken
Gitters (siehe Kap. 2.4.5).
3.6.4 Selected Area Diffraction
Das Beugungsbild setzt sich prinzipiell aus allen aus der Probe austretenden Elektronen
zusammen. Oft ist man jedoch nicht am Beugungsbild der gesamten Probe, sondern nur an
einem kleinen Teil (engl.: selected area) der Probe interessiert. Um diesen Bereich auswählen
zu können, bedient man sich der sogenannten Feldblende (engl.: selected area diffraction
aperture). Diese Blende wird in der Bildebene der Zwischenlinse positioniert und schränkt
so indirekt jenen Bereich auf der Probe ein, aus dem transmittierte Elektronen zu einem
Beugungsbild zusammengefasst werden (siehe Abb. 3.17).
Abbildung 3.19: Strahlendiagramm zur Funktionsweise der Objektivblende
(engl.: selected area diffraction aperture). Das Einbringen einer Blende in die hintere
Bildebene, kommt einer virtuellen Blende vor der Probe gleich. Durch Positionierung
dieser Blende wird nur ein bestimmter Bereich der Probe mit einem Elektronenstrahl
durchleuchtet. [4]
Source: sad aperture.jpg,sad aperture.eps
Bei der Feldblende handelt es sich um eine sogenannte virtuelle Blende, da sie nicht auf
die Probe selbst Einfluss nimmt (Blende und Probe können sich nicht in der gleichen Ebene
befinden), sondern auf das rückseitige Abbild der Probe (Abb. 3.19) [4]. Es handelt sich
also bei der virtuellen Probe um eine äquivalente Blende in der konjugierten Ebene. Durch
Positionierung und Wahl der Größe der Feldblende kann man einen bestimmten Bereich
auf der Probe auswählen und von diesem dann das Beugungsbild (SAD-Beugungsbild) 3.17
darstellen.