Diplomarbeit - Institut für Halbleiter
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4.1. TEILSCHRITTE DER PROBENPRÄPARATION 63<br />
Abbildung 4.2: Probenpräparation nach Gatan bzw. M. Teuchtmann (einer Si-<br />
Probe), Schritte 5-8 und fertige Probe. [17, 18, 19]<br />
Source: x preparation step5-8.jpg,x preparation step5-8.eps