Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

36 KAPITEL 3. DAS TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOP
Abbildung 3.6: (A) Konstruktion eines Strahlendiagramms: Strahl 1 geht vom
äußersten Punkt des Objektes (Pfeil) ungebrochen durch das Zentrum der Linse;
Strahl 2 (parallel zur optischen Achse) wird in den Fokus der Linse gebrochen und
schneidet Strahl 1 um das Abbild des Objektes zu formen. Jeder parallel zur optischen
Achse verlaufende Strahl wird durch den Fokus gebrochen. [4].
(B) Strahlendiagramm eines endlich ausgedehnten Objektes im Abstand u zur Ebene
der Linse. Von einem Punkt auf dem Objekt ausgehende Strahlen werden zu
einem Abbild des Objektes in der Bild-Ebene im Abstand v gesammelt. Alle vom
Objekt ausgehende, parallele Strahlen werden in die Fokus-Ebene (Abstand f) fokussiert.
[4].
Source: ray diagrams.jpg,ray diagrams.eps
In Abbildung 3.6(B) werden diese drei Ebenen deutlich. Für die schon definierten Abstände
u, v und f gilt folgende als Linsengleichung bekannte Formel (Glg. 3.3):
1 1 1
+ =
u v f
(3.3)
Da das Vergrößerungs-/Verkleinerungsverhältnis eines Objektes in der Bildebene von den
Abständen u und v abhängt, lässt sich mit diesen beiden Größen ein Vergrößerungsverhältnis
(M) [4] definieren.
M = v
u
(3.4)
Da man imstande ist, durch den Spulenstrom, die Brennweite (f) einer elektromagnetischen
Linse zu verändern und sich aufgrund von Gleichung 3.3 bei fixem u sich deshalb v verändern
muss, hat dies direkte Auswirkung auf das Vergrößerungsverhältnis. Ein gewünschtes Ver-