Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

64 KAPITEL 4. PROBENPRÄPARATION
Schritt 2: Kleben des Stapels. Zusammen mit 4 - 6 sogenannten Dummy-Stücken (Platz-
haltern) werden zwei der zu untersuchenden Probenstücke mit der Probenoberfläche
zueinander (face-to-face) zu einem Stapel zusammengeklebt (Abb. 4.1, step 2). Dazu
wird i.a. ein 2-Komponentenkleber verwendet. Der Stapel wird in eine Halterung aus
Teflon eingeführt, um ein Verrutschen der Probenstücke zu verhindern (Abb. 4.1, step
3).
Schritt 3: Aushärten des Klebers. Zum Aushärten des Klebers wird der Stapel samt
Halterung und Klemmvorrichtung auf eine Heizplatte gegeben. Je nach Kleber dauert
das Aushärten 10 − 60 min bei ca. 175£ .
Abbildung 4.3: Ultraschall-Bohrer von Gatan mit Zentriermikroskop. [16]
Source: gatan ultrasonic cutter.jpg,gatan ultrasonic cutter.eps
Schritt 4: Herstellung eines zylindrischen Bohrkerns. Ist der Kleber ausgehärtet wird
der Stapel aus der Teflonhalterung herausgelöst und unter Verwendung eines thermi-
schem Heisswachs in einer Bohrvorrichtung fixiert. Das thermische Heisswachs hat die
Aufgabe den Stapel zu fixieren, jedoch nicht dauerhaft mit dem Halterung der Bohr-
vorrichtung zu verkleben. Durch späteres Erhitzen (T < 130¢ C) verflüssigt sich das
Heisswachs wieder und der Stapel kann wieder von der Bohrvorrichtung entfernt wer-
den.
Ein Ultraschall-Bohrers (Abb. 4.3) wird benutzt, um einen Teil so aus dem Stapel
herausgeschnitten, so dass die beiden zu mikroskopierenden Schichten in der Mitte des
zylindrischen Bohrkerns liegen (Abb. 4.1, step 4).