Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

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58 KAPITEL 3. DAS TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOP 3.7.2 Realisierung Das optische Analogon wurde auf einer optischen Bank realisiert. Die Linsen, der Laser und die Halterung <strong>für</strong> das Strichgitter und das Zoomobjektiv wurden mit Reitern auf der optischen Bank fixiert. Als Zwischenlinse wurde das Zoomobjektiv einer Minolta Spiegelreflexkamera (35 - 70 mm) verwendet. Tabelle 3.2 listet die verwendeten Teile auf. TEM opt. Analogon Daten Position Thermische e-Quelle HeNe-Laser Klasse IIIb -1 cm Kondensorlinse nicht notwendig - - Probe Strichgitter 100 Striche/cm 0 cm Objektivlinse Glaslinse +50 mm ≈6 cm Zwischenlinse Zoomlinse 35 - 70 mm ≈26 cm Objektivlinse Glaslinse +50 mm ≈42 cm Betrachtungsschirm Leinwand ≈560 cm Tabelle 3.2: Auflistung der verwendeten Teile zur Realisierung des optischen Ana- logons <strong>für</strong> ein TEM. Abbildung 3.22: (A) Realisierung eines optischen Analogons zu einem TEM. Der HeNe-Laser ersetzt die Elektronenquelle. Fixbrennweitige Glaslinsen ersetzen die Objektiv- und die Projektionslinse. Eine Zoomlinse wird als Zwischenlinse benutzt. Als Probe dient ein Strichgitter (100/cm). (B) Transmissionsbild (Abbild des Strichgitters) und (C) Beugungsbild hervorgerufen durch Beugung des Laserlichtes am Strichgitter. Source: optical analogue.jpg,optical analogue.eps Abbildung 3.22 zeigt die Realisierung des Analogons auf einer optischen Bank sowie das
3.7. OPTISCHES ANALOGON 59 damit erzielte Transmissionsbild (Strichgitter beleuchtet durch den kreisförmigen Laserstrahl) und das dazugehörige Beugungsbild. Die Feinjustage und Positionierung der Linsen erfordert etwas Zeit. Sollte kein geeignetes Strichgitter (50/cm - 200/cm) vorhanden sein, so kann auch ein in einen Diarahmen eingespanntes Stück einer engmaschigen Damenstrumpfhose verwendet werden. Beim Wechsel von Transmissionsbild zum Beugungsbild handelt es sich um eine Fourier- transformation in Echtzeit (siehe Kapitel 6.1). Das Transmissionsbild wird in seine harmoni- schen Anteile zerlegt.
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J O H A N N E S K E P L E R U N I V
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4 VORWORT
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ii VORWORT
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iv VORWORT
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vi INHALTSVERZEICHNIS 2.3.5 Elektro
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viii INHALTSVERZEICHNIS 6 Anhang 93
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2 KAPITEL 1. EINLEITUNG Atom gesehe
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4 KAPITEL 1. EINLEITUNG tischen Vor
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6 KAPITEL 1. EINLEITUNG Abbildung 1
Seite 20 und 21: 8 KAPITEL 1. EINLEITUNG der Elektro
Seite 22 und 23: 10 KAPITEL 1. EINLEITUNG
Seite 24 und 25: 12KAPITEL 2. GRUNDLAGEN DER TRANSMI
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Seite 74 und 75: 62 KAPITEL 4. PROBENPRÄPARATION 4.
Seite 76 und 77: 64 KAPITEL 4. PROBENPRÄPARATION Sc
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Seite 82 und 83: 70 KAPITEL 4. PROBENPRÄPARATION
Seite 84 und 85: 72 KAPITEL 5. CHARAKTERISIERUNG VON
Seite 106 und 107: 94 KAPITEL 6. ANHANG 6.2 Biographie
Seite 108 und 109: 96 KAPITEL 6. ANHANG sur la Théori
Seite 110 und 111: 98 KAPITEL 6. ANHANG 6.3 Physikalis
Seite 112 und 113: 100 KAPITEL 6. ANHANG
Seite 114 und 115: 102 LITERATURVERZEICHNIS [13] Peter
Seite 116 und 117: 104 LITERATURVERZEICHNIS
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Seite 120:
108 Nachwort
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