Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

3.3. ELEKTROMAGNETISCHE LINSEN 39
Abbildung 3.9: Prinzip einer magnetischen Linse: Auf ein Elektron, welches mit
einer Geschwindigkeit �v = v �
� + v⊥ � in ein Magnetfeld der Stärke � B = � B⊥ + � B� eintritt, wirkt eine Kraft � F = −e( � E+�v× � B). Jene Feldkomponente � B⊥, die senkrecht
auf �v steht führt zu einer Verstärkung der Geschwindigkeitskomponente v⊥ � und
somit zu einer Spiralbahn des Elektrons. Zu v⊥steht � jedoch wiederum � B� senkrecht,
was in einer Bewegung hin zur optischen Achse resultiert. [10].
Source: lens principle.jpg,lens principle.eps
von der optischen Achse sind werden stärker abgelenkt, da die magnetische Feldstärke zu den
Polschuhen hin zunimmt. Deshalb treffen sich die Bahnen aller Elektronen, näherungsweise
unabhängig von ihrem Abstand zur optischen Achse, in einem Punkt hinter der Linse - dem
Fokus! Die Definition der Fokuslänge einer magnetischen Linse zeigt Abbildung 3.10
Abbildung 3.10: Ablenkung und Fokusdurchgang eines Elektronenstrahls in einem
inhomogenen Magnetfeld. Definition des Fokuslänge einer magnetischen Linse.
[10].
Source: magnetic focus.jpg,magnetic focus.eps