Diplomarbeit - Institut für Halbleiter

30 KAPITEL 3. DAS TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOP
Abbildung 3.1: Der Aufbau eines Transmissionselektronenmikroskops (TEM) (A)
ist dem eines Durchlichtmikroskops (DLM) (B) sehr ähnlich. Beide bestehen aus
einer Strahlungsquelle, einem Kondensorlinsensystem und einem Abbildungslinsensystem
aus Objektiv-, Zwischen- und Projektionslinse.
Source: tem vs lm graphic.jpg,tem vs lm graphic.eps
3.2 Die Elektronenquelle
Grundsätzlich können zwei Arten von Elektronenquellen unterschieden werden: Thermische
Elektronenquellen (engl.: thermionic source) und Feldemissionsquellen (engl.: field-emission
source). Erstere emittieren Elektronen, wenn sie aufgeheizt werden, zweitere durch Anlegen
eines hohen elektrischen Feldes. (Abb. 3.2) [4]
Um möglichst kohärente Elektronenwellen zu erhalten, sollten die emittierten Elektronen
innerhalb eines schmalen Energiebandes liegen; d.h. sie sollten möglichst die gleiche Energie
beim Austritt aus der Elektronenquelle haben. Dies ist eher bei den teureren Feldemissi-
onsquellen gegeben. Thermische Emission liefert Elektronen mit einer breiteren Energiever-
teilung. Aufgrund des geringeren Preises sind jedoch mehrheitlich thermische Quellen im
Einsatz.