Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...

6. Untersuchungsergebnisse
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Kammerdruck: 40,0 kPa
Brenner 1:
U = 35,5 V
I = 300 A
P = 10,7 kW
Brenner 2:
U = 36,0 V
I = 300 A
P = 10,8 kW
Brenner 3:
U = 35,5 V
I = 300 A
P = 10,7 kW
Kammerdruck: 66,7 kPa
Brenner 1:
U = 35,5 V
I = 300 A
P = 10,7 kW
Brenner 2:
U = 36,0 V
I = 300 A
P = 10,8 kW
Brenner 3:
U = 35,5 V
I = 300 A
P = 10,7 kW
Kammerdruck: 93,3 kPa
Brenner 1:
U = 35,5 V
I = 300 A
P = 10,7 kW
Brenner 2:
U = 36,0 V
I = 300 A
P = 10,8 kW
Brenner 3:
U = 35,5 V
I = 300 A
P = 10,7 kW
Abbildung 50: Gasgeschwindigkeitsprofile in Abhängigkeit vom Kammerdruck für reine
Argonplasmen (25 l/min) ohne Zerstäubergaseinsatz