Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...
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2. Stand der Forschung<br />
33<br />
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Transport zur<br />
Oberfläche<br />
Gasphasenreaktionen<br />
Adsorption <strong>von</strong><br />
schichtbildenden<br />
Spezies<br />
Oberflächendiffusion<br />
Desorption<br />
<strong>von</strong> schichtbildenden<br />
Spezies<br />
Keimbildung<br />
und -wachstum<br />
Abbildung 8: Keimbildungsmechanismen in CVD Prozessen [Fre95]<br />
Desorption<br />
flüchtiger<br />
Reaktionsprodukte<br />
Anlagerung an<br />
Stufen der<br />
Substratoberfläche<br />
Abbildung 9: Energiezustände <strong>von</strong> adsorbierten Spezies während der Diffusion <strong>auf</strong> der<br />
Substratoberfläche [Fre95]<br />
Mit steigender Substrattemperatur nimmt die Beweglichkeit der adsorbierten Teilchen <strong>auf</strong> der<br />
Substratoberfläche der erhöhten thermischen Aktivierung entsprechend zu. Der Weg <strong>von</strong> Teilchen<br />
<strong>auf</strong> dem Substrat lässt sich statistisch beschreiben. Diese sogenannte „Brownsche Bewegung“<br />
ist durch einen Diffusionskoeffizienten DS charakterisiert, der sich für einzelne Atome,<br />
die sich <strong>auf</strong> einer Substratoberfläche bewegen, wie folgt ausdrücken lässt:
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