Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...

Inhaltsverzeichnis
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5.2 Drei-Brenner DC Plasmajet CVD 69
5.2.1 Prozessführung 69
5.2.2 Prozesscharakterisierung 71
5.3 HVHF Plasmajet CVD 73
5.3.1 Prozessführung 73
5.3.2 Prozesscharakterisierung 74
6. Untersuchungsergebnisse 76
6.1 DC Plasmajet CVD 76
6.1.1 Prozesscharakterisierung 76
6.1.2 Schichtcharakterisierung 81
6.2 Drei-Brenner DC Plasmajet CVD 95
6.2.1 Prozesscharakterisierung 95
6.2.2 Schichtcharakterisierung 109
6.3 HVHF Plasmajet CVD 119
6.3.1 Prozesscharakterisierung 119
6.3.2 Schichtcharakterisierung 126
7. Diskussion 135
7.1 Schichtaufbau 135
7.2 Abscheidemechanismen 139
7.3 Prozessführung 141
8. Zusammenfassung 144
9. Literatur 147