Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...

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8. Zusammenfassung
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von B-C-N gilt es lediglich, Precursoren, die die jeweiligen Elemente enthalten, auszuwählen.
Da die Synthese über atomare Zwischenstufen abläuft, kann die Wahl der Precursoren
vorwiegend unter ökonomischen und arbeitsschutztechnischen Gesichtspunkten geschehen.
Weiterer Forschungsbedarf besteht auf dem Gebiet der Precursorinjektion. Das Simulieren der
Tröpfchenbildung und des Wärmeübertrags vom Plasma auf die Tröpfchen in Abhängigkeit
vom Zerstäubergas, seiner Geschwindigkeit, dem Injektionsort und den Plasmaparametern
wird entscheidend zum Optimieren der Speziesverteilung im Plasma beitragen. Durch Analysen
unter Berücksichtigung von Precursoreigenschaften (temperaturabhängige Viskosität
und Oberflächenspannung, Verdampfungs- und Dissoziationsenthalpien) können die Injektionsbedingungen
für beliebige weitere Precursorsysteme optimiert werden.
Schließlich gilt es, die Emissionsspektroskopie zu einem online Prozesskontrolltool zu entwickeln,
um eine ausreichende Prozesssicherheit für die industrielle Serienfertigung zu erreichen.
Dies kann durch die Überwachung der Emissionsintensität ausgewählter Spezies an
mehreren Orten erfolgen, so dass Abweichungen von einem optimierten Syntheseprozess
erkannt werden.